ZG/W530 SF₆气体浓度监测装置专用于测量低浓度的SF₆气体，即使空气中的SF₆气体含量极低，也可对其进行可靠并且重复的量化测定。仪器采用光声红外光谱，具有无破坏性，测量精度可达6ppbv。仪器会对湿气湿度进行补偿，因此不会影响测量结果,同时该仪器会进行循环自我测试，可确保其工作正常、结果可靠。该泄漏率测量仪易于使用，可以通过外壳上的控制键或配有图形用的户界面、功能强大的电脑软件进行操作。